ピエゾ抵抗効果を利用する制御用機器として、適切なものは次のうちどれか。
１：バイメタル式温度検出器
２：電子式圧力検出器
３：測温抵抗体
４：熱電対
５：フォトダイオードセル
★みんなの正解率63.5%
答：２
覚えよう！
ピエゾ抵抗効果とは、シリコン等が外圧で変形すると電気抵抗が変わる性質をいい、電子式圧力検出器に使われている。
シリコンダイアフラム（薄い膜）の変形に伴う電気抵抗の変化を利用するが、実際には、まず金属ダイアフラムで圧力を受け、封入された液体を介してその圧力をシリコンダイアフラムに伝える構造（隔膜式）となっている。